碳化硅轴套
  • 【48812】开发碳化硅资料深刻蚀工艺「中锃半导体」完结数千万元天使轮融资丨36氪首发
来源:bob手机app    发布时间:2024-05-06 12:04:46
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  36 氪得悉,中锃半导体(深圳)有限公司(下称「中锃半导体」)完结数千万块钱天使轮融资。本轮融资由国科京东方、国核曜能、望众出资等一起出资,将大多数都用在研制渠道建立、原型设备和中心工艺开发、继续吸纳优异技能人才。

  「中锃半导体」成立于2023年10月,聚集于特征工艺范畴的 “等离子体干法刻蚀设备(Plasma Dry Etch)”和“要害工艺处理方案”。

  「中锃半导体」创始人兼CEO谭志明表明,公司现在正全力开发针对碳化硅资料的深刻蚀设备和工艺(Deep SiC Etch),用以支撑沟槽栅(Trench-Gate)的完结和更宽广器材规划窗口。

  功率半导体,又称电力电子器材或功率电子器材,是电子工业链中最中心的一类器材之一。功率半导体可以在必定程度上完结电能转化和电路操控,在电路中首要起着功率转化、功率放大、 功率开关、线路维护、逆变(直流通沟通)和整流(沟通转直流)等效果。

  而碳化硅(SiC)作为一种宽禁带资料天然具有更高的耐压,用碳化硅制造的电力器材相对于传统硅基器材,可以以更高的频率和更宽的温度区域内处理高压电流。

  在模组层面,碳化硅已能显著地下降损耗、分量和体积。为此,在未来动力技能革新傍边,碳化硅资料将极具优势。

  因而,现在在各类功率器材中,碳化硅功率器材作为一项先进的电力电子设备,现已大范围的应用于动力转化、电机操控、电网维护等多个范畴。

  经过沟槽栅(Trench-Gate)技能,碳化硅产品能缩小芯片的表面积,让单个晶圆能产出更多的芯片。因而,这项技能也成为工业界降本钱的首要手法。

  而除了本钱考量之外,沟槽栅还可以尽可能的避免寄生Jfet效应带来的额定内阻。比方,国外芯片厂商“英飞凌”就曾经过沟槽,来挑选更好晶面来改进栅氧界面和进步器材功能等等。

  因而,怎么样应对碳化硅仅次于金刚石的超高的硬度(莫氏硬度9.5)和资料特性,完结碳化硅深刻蚀(Deep SiC Etch)以高效地完结工艺的详细描摹要求,就成为工业界一个严重的难题。

  在国内商场,现在工业界正处于碳化硅深刻蚀完结技能打破和量产的要害阶段,更需求本乡的设备厂商供给更多特征工艺的支撑,一起完结半导体技能上的“弯道超车”。

  「中锃半导体」创始人兼CEO谭志明介绍,“公司团队在技能和经历上十分全面,包括设备、制程工艺乃至器材规划等多个环节,而且承认会同工业生态内的合作同伴进行联合研制,希望尽早推出杰出的刻蚀设备产品和成熟的工艺处理方案,帮忙客户处理要害工艺打破问题,提高产品价值。”

  展望未来,谭志明表明,“中锃半导体将携手工业生态同伴和业界高手,以抢先的设备和工艺助力我国碳化硅工业高质量开展跑出加速度。并希望依托本乡商场的根底,终究走向全球。”